PECVD-buisoven
De PECVD-buisoven is een plasmagasfase-depositiebuisovensysteem, dat bestaat uit een kwartsreactiekamer, een radiofrequentievoeding, een meerkanaals gasmengsysteem, een vacuümeenheid en een reactiecontrolesysteem. De oven maakt gebruik van zeer zuiver aluminiumoxidevezelmateriaal en het oppervlak is bedekt met geïmporteerde aluminiumoxidecoating op hoge temperatuur om de levensduur van het instrument te verlengen en de verwarmingsefficiëntie te verbeteren. Voor de traditionele chemische dampafzetting wordt een radiofrequentie-inductieapparaat geïnstalleerd om het reactiegas te ioniseren en plasma te genereren. De hoge activiteit van het plasma versnelt de reactie. Het heeft een goede uniformiteit en herhaalbaarheid, kan films vormen over een groot oppervlak, kan films vormen bij lage temperaturen, heeft een uitstekende stapdekking, is gemakkelijk te controleren en de samenstelling en dikte van de film gemakkelijk te industrialiseren. Het wordt veel gebruikt bij de groei van dunne films zoals grafeen, siliciummonoxide, siliciumnitride, siliciumoxynitride en amorf silicium (A-SI: H).
| Grootte ovenbuis (MM) | Bedrijfstemperatuur (°C) | Vacuümgraad | Vermogen (kW) | Spanning | Verwarmingselementen | Verwarmingssnelheid |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1MPA 10 PA 6,67*10-4PA | 3 | 220/380V | Weerstand draad | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Een ovenbekleding faalt zelden omdat de oven een onmogelijke temperatuur bereikt. Het mislukt meestal omdat het vuurvaste materiaal is geselecteerd op de verkeerde mix van warmte, chemie, belasting en thermische cycli. De symptomen zijn bekend: afbladderen op het hete oppervlak, open verbindingen, gecorrodeerde ankers en een schaal die maandenlang stilletjes gas of elektriciteit verbruikt. Kort antwoord: kies eerst het vuurvaste materiaal van de oven op basis van de f...
